BeggeVakuumpumpe og kompressorEr enheder til behandling af gas, men deres arbejdsprincipper og anvendelsesområde er forskellige.
Vakuumpumpens hovedfunktion er at fjerne gassen fra reaktionskammeret for at reducere trykket i beholderen for at opnå en forudbestemt vakuumgrad. Gassen ekstraheres fra rummet gennem suge- og udstødningsmekanismen for at danne en vakuumtilstand. Vakuumpumper bruges normalt i laboratorier, produktions- og fremstillingsfelter. I Wafer Fabs, ætsningsudstyr, deponeringsudstyr, EUV -litografiudstyr, ionimplantationsudstyr, detektion og karakteriseringsudstyr osv. Skal alle være støvsuget.
Kompressorens funktion er at indånde gas og komprimere den, øge gasens tryk, komprimere gassen i et mindre volumen og øge densiteten og trykket på gassen. Dets arbejdsprincip er at komprimere gassen gennem udstødningsventilen og derefter lægge den komprimerede gas i en gastank eller andet udstyr. Kompressorer bruges normalt i forarbejdnings- og fremstillingsfelter. Den CDA -gas, vi ofte taler om, leveres af kompressoren. CDA bruges til at kontrollere forskellige automatiseringsudstyr og ventiler. For fremstilling af halvleder skal CDA være meget ren og tør. Luftudgangen fra kompressoren skal passere gennem et sofistikeret filtreringssystem for at fjerne olie, fugt og andre partikler for at sikre, at der ikke er nogen kontaminering af skiven.
Hvad er kategorierne afVakuumpumpe og kompressor?
I halvlederudstyr bruges ofte tørre pumper og molekylære pumper. En tør pumpe henviser til en vakuumpumpe, der ikke bruger nogen væske som et forseglings- eller kølemedium, der undgår problemet med kontaminering af oliedamp. Det bruges generelt til den ru vakuumekstraktion af halvlederudstyr. Molekylære pumper kan opnå ekstremt høje vakuumniveauer. Tørre pumper og molekylære pumper bruges ofte i kombination i halvlederudstyr til at imødekomme behovene i forskellige vakuumniveauer.
Kompressorer kan opdeles i stempel, skrue, centrifugal, roterende vingeluftkompressorer osv.
På grund af de forskellige design og arbejdsprincipper for vakuumpumpe og kompressor, kan vakuumpumper normalt ikke erstatte kompressorer. Selvom vakuumpumper kan reducere tryk og densitet af gasser, kan de ikke komprimere gasser i mindre volumener og højere tryk. På grund af de begrænsede ydelses- og arbejdsegenskaber ved vakuumpumper er de desuden bedst egnet til at håndtere gasser med lav densitet og miljøer med lavt tryk.
Derfor, hvis gas skal komprimeres til et mindre volumen og højere tryk, skal der anvendes en kompressor. Tværtimod, hvis gassen skal udvindes og en vakuumtilstand dannes, skal der anvendes en vakuumpumpe.
Selvom begge deleVakuumpumpe og kompressorEr enheder, der bruges til at behandle gas, er der store forskelle i design og arbejdsprincip. Selvom vakuumpumpen kan reducere tryk og densitet af gassen, kan den ikke erstatte kompressoren, især når gassen skal komprimeres til et mindre volumen og højere tryk.
